노광

  • 패턴이 새겨진 마스크를 이용해 웨이퍼에 빛을 조사하여 회로 패턴을 형성하는 공정
  • 노광 공정, Track 공정(PR 코팅, 형상 등) 등으로 분류
소재

블랭크 마스크

포토 마스크

펠리클

현상액

헥사메틸디실렌

부품

Light Source


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