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Track

  • Track 장비 : 웨이퍼 표면에 PR을 코팅하고, 빛을 받은 부분과 받지 않은 부분을 화학작용에 의해 제거하여 최종적인 회로의 모양을 형성하는데 사용되는 장비
  • 주요생산업체 : SEMES

한국반도체산업협회 / 한국반도체연구조합
Tel. 02-576-3472 ~ 4 | Fax. 02-570-5269 / 5219 | Email. admin@ksia.or.kr
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