폴리실리콘 건식식각장비
산화막 건식식각장비
Bevel Edge Removal
Dry Strip
삼염화붕소
사불화탄소
팔플루오르화부텐
육불화부타디엔
삼불화메탄
모노플루오르메탄
염소
염산
브롬화수소
황화카르보닐
정보제공
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