플라즈마 화학기상증착장비
저압 화학기상증착 전기로
유기금속화학증착기
Epitaxy
소수성 절연막 생성장비
ALD
암모니아
아산화질소
모노실란
디실란
디클로로실란
헥사디클로로실란
테트라에톡시실란
트리스디메틸아미노실란
비스디에틸아미노실란
디이소프로필아미노실란
트리메틸실란
디메틸디메톡시실란
옥타메틸사이클로테트라실록산
지크로니아
하프늄
메탈 프리커서
육불화텅스텐
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