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확산/이온주입

  • 확산 : 높은 열에너지를 가진 불순물 입자를 웨이퍼 내로 주입하는 공정
  • 이온주입 : 불순물을 이온화한 후 반도체에 주입하여 특정한 전기적 성질을 갖도록 하는 공정
장비

확산

급속가열기

전기로

이온주입

이온주입기

소재

아르신

디보란

포스핀

부품

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