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연마/세정

  • 연마 : 연마 슬러리를 주입하여 연마 패드와 시료의 표면을 마찰함으로써 시료의 표면층을 연마하는 공정
  • 세정 : 공정을 진행하며 생긴 불순물을 제거하는 공정
장비

CMP

소재

CMP 필터

CMP 패드

CMP Slurry(Poly-si)

CMP Slurry(Cu 벌크)

CMP Slurry(Cu 배리어)

CMP Slurry(W)

CMP Slurry(ILD)

CMP Slurry(STI)

세정액

삼불화염소

20%희석불소

이소프로필 알코올

과산화수소수

암모니아수

황산

불화수소

CMP후세정액

삼불화질소

부품

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